高精度・均一性・応答性に優れたPVC製スリットノズル｜SLNH-Kシリーズ

厳しい要件をすべて満たす性能を備えた製品を開発できたこと。
試作ノズルの噴霧動画を提示し、お客様の不安を払拭できたこと。
高性能を維持しながら、妥当な価格を実現できたこと。

あるフラットパネル（FPD）製造装置メーカーでは、次期装置に搭載するスリットノズルの性能向上を目指していました。

スリットノズルとは、純水や薬液を薄い液膜状にしてワークに吐出するノズルのことで、ウォーターナイフやアクアナイフとも呼ばれています。このノズルに求められた要件は以下の通りです：

耐薬品性：エッチング液に耐える素材であること。
均一な液膜形成：製品品質に直結する安定性が必要。
低流量：高価なエッチング液の節約が可能。
優れた応答性：液膜の吐出を迅速にオンオフできること。
ボタ落ち防止：噴霧停止後に液が垂れないこと。

これらは非常に高い技術要求であり、既存のスリットノズルの性能を大きく超えるものでした。

お客様から提示されたのは非常に難度の高い要件でしたが、当社はこれに対し、耐薬品性、安定した均一な液膜形成、低流量、吐出オンオフ時の高い応答性、そしてボタ落ち防止といったすべての要件を満たすスリットノズルの開発・設計・製造をお約束しました。

プロジェクト推進にあたり、お客様の担当者様、当社営業員、そして当社工場の技術責任者による専門チームを結成しました。ゼロからの開発をスタートし、10回以上にわたる設計と試作を繰り返し、そのたびに試作ノズルの噴霧動画をお客様に提示して不安を一つひとつ解消していきました。
その結果、すべての要件を満たすスリットノズルの開発に成功し、ついに量産品の納入が開始されました。

エッチング液を高精度かつ均一な膜厚で塗布できる高性能スリットノズルを搭載したフラットパネル製造装置の新機種設計が無事完了しました。このノズルの採用により、高価な液の使用量を大幅に削減しながら、エッチング工程を最適化する画期的な装置が誕生しました。

現在、この装置はアジア各国のFPD生産工場に導入され、精密なフラットパネル製造の最前線を支える重要な役割を果たしています。